Системы измерения параметров и тестирования полупроводников
|
Системы для измерения параметров полупроводников
 Общая информация о продукте (~181 КБ)
Системы для измерения параметров полупроводников представлены:
системами для автоматизированного параметрического тестирования S400, S600, S510
системой для исследования параметров и характеристик 4200-SCS
системой для высокоскоростного многоканального тестирования 4500-MTS
измерительно-питающими устройствами серий 2400, 2600, 6430
измерителем емкости и
|
|
вольтфарадных характеристик (модель 590)
системой 6220/6514 для измерения сопротивления высокоомных образцов и эффекта Холла.
Модульный принцип построения позволяет создавать гибкие конфигурации измерительных и испытательных комплексов и легко адаптировать их для решения различных задач.
Ключевые особенности систем для измерения параметров полупроводников:
возможность проведения параметрических измерений и автоматизированного тестирования
диапазон частот: от постоянных токов до радиочастотного и СВЧ
разрешение по току до 100 аА (1Е-16 А)
автоматическая регистрация
|
|
вольтамперных, вольтфарадных и временных характеристик
непрерывный и импульсный режимы измерений
автоматическое определение параметров носителей в полупроводниках
интерфейсы GPIB, RS-232, Ethernet и другие
драйверы и библиотеки для LabVIEW, Laindows/CVI, TestPoint LabVIEW, LabWindows/CVI, Visual Basic, C/C++.
Основные области применения:
разработка и исследование новых материалов и структур
разработка новых технологических процессов производства полупроводников
нанотехнологии
оптоэлектроника
тестирование интегральных
|
|
микросхем
испытания на надежность
Краткое описание систем для измерения параметров полупроводников
Системы S400 и S600 позволяют осуществлять многоканальное параметрическое тестирование печатных плат и интегральных микросхем. Отличительной особенностью данной серии является возможность измерений как по постоянному току, так и в диапазоне частот до 40 ГГц (до 200 ГГц) с разрешением по частоте 1 кГц, в частности, S-параметров радиочастотных и СВЧ-цепей. Точность измерения постоянных токов утечки составляет единицы фА (1Е-15 А). Системы S400 и S600 разработаны для минимизации стоимости тестирования и рассчитаны на широкую область применения.
Измерительно-питающие устройства (ИПУ) серий 2400, 2600, модели 6430, 4200-SCS, 4500-MTS объединяют в каждом канале функции программируемого источника тока и напряжения, цифрового вольтметра, амперметра и омметра, программируемой активной нагрузки. Все ИПУ позволяют измерять сопротивления по 4-проводной схеме. Внутренние обратные связи внутри ИПУ повышают точность и скорость
|
|
измерения вольтамперных характеристик, обеспечивают защиту тестируемых устройств от перегрузки, упрощают процесс программирования. Модель 4200-SCS является наиболее чувствительной по току и идеально подходит для исследования параметров полупроводниковых материалов и устройств, в том числе четырехзондовыми методами. Серия 2400 обеспечивает широкий диапазон токов (от 10 пА до 10 А) и напряжений (от 1 мкВ до 1100 В) при максимальной выходной мощности 100 Вт (1000 Вт в импульсном режиме), а также измерение сопротивлений по уникальной 6-проводной методике. Серия 2400 сертифицирована Госстандартом России.
Серия 2600 использует новейшую патентованную технологию Keithley для построения ИПУ, обеспечивающую проведение широкого круга измерений при постоянных, импульсных и низкочастотных токах и напряжениях. Уникальный встроенный процессор сценариев тестирования (технология TSP) позволяет увеличить производительность в 2-4 раза по сравнению с аналогами других производителей в задачах тестирования двух- и трехэлектродных устройств, при измерениях световых и
|
|
вольтамперных характеристик. Модели серии 2600 содержат АЦП разрядностью до 24 бит и обеспечивают скорость регистрации вольтамперных характеристик до 5000 точек в секунду по 1 или 2 каналам.
Модель 6430 является измерительно-питающим устройством с характеристиками электрометра и с богатыми возможностями автоматизации процесса тестирования. Дистанционный предусилитель уменьшает шум в измерительном канале ИПУ до 0,4 фА ( 4Е-16 А) и обеспечивает входное сопротивление в режиме измерения напряжения выше 1Е+16 Ом.
Многоканальная система 4500-MTS является системой реального времени для высокоскоростного параллельного тестирования и исследования вольтамперных характеристик. Модульный принцип построения позволяет конфигурировать систему на 4-36 измерительно-питающих каналов. Встроенный полнофункциональный компьютер и набор стандартных интерфейсов обеспечивают гибкость при решении широкого круга задач, в том числе при испытаниях на надежность. Встроенные программируемые источники питания каждого канала обеспечивают максимальные
|
|
значения напряжений/токов 10 В/1 А. Для дистанционного контроля в условиях производства используется Ethernet-интерфейс.
Модель 590 предназначена для исследования зависимостей емкости от времени и вольтфарадных характеристик полупроводниковых материалов и устройств. Для обеспечения высокой точности измерений используется высокочастотный тестовый сигнал с частотой 1 МГц. Данный метод применяется для тестирования p-n-переходов, барьеров Шоттки, МДП-устройств, при этом чувствительность составляет 0,1 фФ (1Е-16 Ф). Модель 590 обеспечивает диапазон измерения емкости от 10
|
|
фФ (1Е-14 Ф) до 20 нФ и проводимости от 0,1 нСм до 1 мкСм при питающих напряжениях от внутреннего источника от -20 В - +20 В (от -200 В до +200 В при использовании внешнего источника).
Система S510 предназначена для автоматизированных промышленных испытаний, анализа надежности и моделирования жизненного цикла электронных устройств, в т.ч. кремниевых КМОП СБИС класса 65 нм. Она построена на основе систем 4200-SCS, 4500-MTS, 707А и позволяет с высокой скоростью проводить многоканальные параллельные измерения (до 72 каналов) и нагрузочные тесты, реализовывать процедуры измерения
|
|
параметров материалов с высокой диэлектрической проницаемостью методами подкачки зарядов.
Система 6220/6514 используется для определения концентрации подвижности носителей заряда в высокоомных полупроводниках, в частности, в GaAs, по измерениям сопротивлений (до 1Е+12 Ом) и напряжений, обусловленных эффектом Холла. Применение совместно с 6220/6514 коммутирующей системы 7001/7152 и цифрового мультиметра модели 2000 позволяет измерять сопротивления образцов методом Ван дер Пау.
Подробнее: 2400, 2410, 2420, 2425, 2430, 2440, 4200-SCS
|
|  |
|
