Системы для измерения параметров наноматериалов
|
Измерительные системы и устройства для нанотехнологий компании Keithley позволяют:
регистрировать вольтамперные (ВАХ) и вольтфарадные (ВФХ) характеристики наноэлектронных устройств в непрерывном и импульсном режиме
измерять сопротивления и проводимости нанотрубок и нанопроводников
измерять электрические и оптические параметры устройств нанофотоники в непрерывном и импульсном режиме.
|
|
|
|
|
Системы и устройства для измерения электрических параметров наноматериалов и структур
| Измеряемые характеристики и параметры |
4200-SCS |
6430 |
2400 |
590 |
6220/6221
совместно
с 2182А |
6485 |
6487 |
6517A |
Zyvex S100 * |
| ВАХ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| ВФХ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| Сопротивления в диапазоне 1 мкОм – 100 Ом, дифференциальная проводимость |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| Сопротивления в диапазоне 1 Ом – 100 кОм |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| Сопротивления в диапазоне 1 МОм – 1Е+14 Ом |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| Упругие постоян-ные, модули Юнга, усилие кантиливера |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
* - корпорация Zyvex является партнером Keithley в области нанотехнологий.
Краткое описание измерительных систем и устройств для нанотехнологий
|
Система 4200-SCS предоставляет широкие возможности для исследования характеристик полупроводниковых материалов и приборов по постоянному току и в импульсном режиме. Она позволяет проводить измерение:
вольтамперных характеристик с разрешением 1Е-16 А, в т.ч. с подкачкой зарядов импульсами напряжения
холловских напряжений
сопротивлений четырехзондовыми методами, в том числе методом Ван дер Пау.
Гибкость конфигурации системы 4200-SCS обеспечивается модульным исполнением. Она может включать до восьми измерительно-питающих устройств (ИПУ) с собственными прецизионными источниками тока и напряжения, выполненными в виде плат расширения, и дополнительные дистанционные предусилители, повышающие разрешение от 100 фA (1Е-13 А) до 0,1 фA (1Е-16 А), что позволяет измерять сопротивления свыше 1Е+12 Ом.
Ключевые особенности:
диапазон измеряемых /подаваемых напряжений от 1 мкВ/5 мкВ до 210 В/210 В
|
|
диапазон измеряемых/подаваемых токов от 1Е-16 А/1,5Е-15 А до 1 А/1 А
диапазон амплитуд генерируемых импульсов напряжения от 100 мВ до 40 В
длительность импульсов напряжения от 10 нс и более
полоса частот входного усилителя 0 … 750 МГц.
Модель 6430 является измерительно-питающим устройством с характеристиками электрометра и богатыми возможностями автоматизации процессов тестирования. Дистанционный предусилитель уменьшает шум в измерительном канале ИПУ до 0,4 фА ( 4Е-16 А) и обеспечивает входное сопротивление в режиме измерения напряжения выше 1Е+16 Ом.
Измерительно-питающие устройства (ИПУ) серии 2400 обеспечивают широкий диапазон токов (от 10 пА до 10 А) и напряжений (от 1 мкВ до 1100 В) при максимальной выходной мощности 100 Вт (1000 Вт в импульсном режиме), а также измерение сопротивлений по 2-х, 4-х и уникальной 6-проводной методике. Серия 2400 сертифицирована Госстандартом России.
|
|
Модель 590 предназначена для исследования зависимостей емкости от времени и вольтфарадных характеристик полупроводниковых материалов и устройств. Для обеспечения высокой точности измерений используется высокочастотный тестовый сигнал с частотой 1 МГц. Данный метод применяется для тестирования p-n-переходов, барьеров Шоттки, МДП-устройств, при этом чувствительность составляет 0,1 фФ (1Е-16 Ф). Модель 590 обеспечивает диапазон измерения емкости от 10 фФ (1Е-14 Ф) до 20 нФ и проводимости от 0,1 нСм до 1 мкСм при питающих напряжениях от внутреннего источника от -20 В - +20 В (от -200 В до +200 В при использовании внешнего источника).
Нановольтметр 2182А позволяет измерять напряжения по двум каналам с низким уровнем шума и высокой скоростью, может работать в непрерывном и импульсном режимах и активно компенсировать источники ошибок, в частности, термо-ЭДС, электрохимические потенциалы и др. Дельта-режим (delta mode) позволяет уменьшить шум до 1 нВ. Совместно с уникальными программируемыми источниками постоянного
|
|
 (модель 6220) и переменного тока (модель 6221) нановольтметр 2182А позволяет регистрировать дифференциальные проводимости и сопротивления в диапазоне от 10 нОм до 100 Мом и является мощным средством исследования новых материалов, в частности, в области нанотехнологий и при изучении механизмов сверхпроводимости.
Модель 6485 - экономичный пикоамперметр с разрешением 10 фА (1Е-14 А), диапазоном измеряемых токов от 2Е-14 А до 20 мА и падением напряжения менее 200 мкВ.
Модель 6487 - пикоамперметр, аналогичный модели 6485, со встроенным программируемым источником напряжения от -500 В до +500 В для измерения сопротивлений и вольтамперных характеристик. Имеет помимо цифровых интерфейсов аналоговый выход.
|
|
|
|
|
|  |
|
